TDUA_台灣顯示器產業聯合總會

技術/產品簡介    

● 去除效率>80-90%
經客戶端實測， VOCs經本設備處理後，有大於80-90%的去除能效。

● 精密溫溼度控制，溫度±0.5°C、濕度±2%RH
可依照客戶需求，設計規劃對應的溫度、濕度和潔淨度。

● 單台一年減少202公噸碳排放量
每年廢熱回收、水回收可減少45公噸碳排放量；運轉成本相較Rotor減少37.3%，相當於每年減少157公噸碳排放量，總計一年減少202公噸碳排放量。另外每年減少76公斤VOCs排放量，減少空氣汙染。

技術/產品創新特色

● WCF水觸媒
採用水觸媒轉化VOCs，再用離子吸附板吸附離子態的VOCs，達到以水去除VOCs的長效方式。

● 水洗過濾裝置
藉由液體（由上到下）跟氣體（由下到上）平行式對流的碰撞，達到降低用水量，以及減少有機物(VOCs)自水中再次逸散(Outgassing)，提升空氣之清洗效率的效果。

技術/產品應用
本設備能替代傳統冷凝法、吸附法、洗滌法等VOCs處理技術，去除黃光製程中的VOCs廢氣，達到長效、低汙染的VOCs去除方式。
面板與半導體黃光段製程設備中，以塗佈、VCD乾燥、軟烤與硬烤設備所產生的VOCs濃度最高，本設備可應用於面板與半導體製程，降低VOCs對環境造成的影響，進而有效提升製程良率。