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08

2023.03

徵獎活動 - GPA

奇鼎科技–製程長效型VOCs處理設備

技術/產品簡介    

● 去除效率>80-90%
經客戶端實測, VOCs經本設備處理後,有大於80-90%的去除能效。


● 精密溫溼度控制,溫度±0.5°C、濕度±2%RH
可依照客戶需求,設計規劃對應的溫度、濕度和潔淨度。


● 單台一年減少202公噸碳排放量
每年廢熱回收、水回收可減少45公噸碳排放量;運轉成本相較Rotor減少37.3%,相當於每年減少157公噸碳排放量,總計一年減少202公噸碳排放量。另外每年減少76公斤VOCs排放量,減少空氣汙染。

 

技術/產品創新特色

● WCF水觸媒
採用水觸媒轉化VOCs,再用離子吸附板吸附離子態的VOCs,達到以水去除VOCs的長效方式。


● 水洗過濾裝置
藉由液體(由上到下)跟氣體(由下到上)平行式對流的碰撞,達到降低用水量,以及減少有機物(VOCs)自水中再次逸散(Outgassing),提升空氣之清洗效率的效果。


技術/產品應用
本設備能替代傳統冷凝法、吸附法、洗滌法等VOCs處理技術,去除黃光製程中的VOCs廢氣,達到長效、低汙染的VOCs去除方式。
面板與半導體黃光段製程設備中,以塗佈、VCD乾燥、軟烤與硬烤設備所產生的VOCs濃度最高,本設備可應用於面板與半導體製程,降低VOCs對環境造成的影響,進而有效提升製程良率。

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